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單成分化學品

品名 化學式 電子等級 應用
異丙醇 CH3CH(OH)CH3 EL~UPS 製程清洗
PMA C6H12O3 EL~UPS 光阻清洗
EBR C4H10O2+C6H12O3 EL~UPS 光阻清洗
雙氧水 H2O2 EL~UPS 蝕刻清洗
丙酮 C3H6O EL~UPS 製程清洗